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最優良文章| 晶圓翹曲之應力分析技術 - 機械工業網

故藉由本研究之模擬方法，即可快速預測出實際加工之前氮化矽薄膜的本質應力、薄膜成長後的內應力與翹曲量。 During the processing of silicon wafers, ...

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