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矽晶圓晶格方向
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應材:半導體材料改善對晶片性能提升至關重要
應材將磊晶定義為沉積或是生長單晶矽薄膜,該沉積薄膜呈現晶格架構且與基板的方向一致。 Chu指出,在PMOS磊晶製程之外再佈置一道NMOS磊晶製程,能讓晶圓代工廠進一步 ...
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