Micromachining),於(100)矽晶圓上製作高深寬比凸角矽結構時,光罩. 補償圖形的設計。在凸形圖形如矩形島塊,在矽基 ... 各晶格方向利用KOH 濕蝕刻之蝕刻速率,其蝕.
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