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矽晶圓晶格方向
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晶片製造理論基礎:半導體單晶雷射定向 - 每日頭條
2020年3月25日 — 這些腐蝕坑是由與晶格主要平面平行的小平面組成。它們是一些有特定晶向的晶面族,構成各具特殊對稱性的腐蝕坑,這是晶體各向異性的結果。鍺、矽單晶 ...
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