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矽晶圓晶格方向
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單晶矽非等向性蝕刻研究__臺灣博碩士論文知識加值系統
非等向性濕蝕刻對矽晶圓塊體加工是一項重要的製程。 ... 本文使用的細胞自動法則視晶體為細胞沿<110>晶格方向排列而成,蝕刻的過程為確定的移除位於蝕刻面上的細胞, ...
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