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第二章多孔矽材料理論

2-1 矽晶圓形成多孔矽表面機制. 將矽晶圓經由陽極電化學蝕刻，經由代表陽極氫氟酸(HF)溶液中反 ... 蝕刻且不造成本身結晶方向的變異，而矽晶圓分P-type silicon 與.

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