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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構

目前最常見的矽晶片的體蝕刻技術，主要是濕式的非等向性化學蝕刻 ... 然而，受到(111) 晶格面的限制，利用矽晶片非 ... 面方向)，仍然無法產生較多元的幾何外形。

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