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矽晶圓晶格方向
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矽晶格方向 矽晶片100跟111的差別 | 藥師家
晶格方向 對元件製作有三種影響,(1)晶圓分割或裂片,(2)磊晶層的等方向沉積,和(3)金氧半(MOS)元件的表面狀態電荷的密度。單晶矽晶圓在。
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