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積體電路製作流程

光罩是IC線路設計圖(Layout)的幾何縮小版，使用. 電子束(直徑大小約1um)在石英片上刻劃，再以光罩當成媒介，進行. 圖形轉移把光罩上的圖形製作在矽晶圓上 ...

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