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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

邊緣拋光後的晶片必需馬上清洗，清洗過後再做目視檢查. 是否有缺口（Chip）、裂痕（Scratch）或污染物，再進行晶圓表面拋光。晶圓. 表面拋光是晶圓表面加工的最後一道步驟 ...

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