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利用矽光子製程實現光被動元件__臺灣博碩士論文知識加值系統

此論文探討利用兩種不同矽光子帄台實現光被動元件的可行性。 ... 此外，也透過台積電標準九十奈米互補式金氧半製程，在不變動任何製程參數下，使用多晶矽層製作光學 ...

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