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化學氣相沉積機台規範

機台原理. 反應氣體在反應器的主氣流裏，藉著反應氣體在主氣流 ... 確認石英管鎖緊部位是否有冷卻水流動 ... 石英管密封程序，橡皮環和進氣端用套環鎖緊.

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