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工三館3F無塵室RTP機台【新增載具】 - 國立清華大學奈微與 ...

新的B載盤為純的石墨，易碎，因此使用時請小心拿取。 再次提醒!! 凡有機物(高分子/PR…etc.)/熔點低(Sn/In…etc.)/易揮發性皆禁止使用。 使用時請選擇〔正確〕的載盤， ...

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