用不同前驅物會產生不同鍍膜,例如: (1)前驅物 SiCl4 產生 Si 膜(圖二): SiCl4 (g) + ... (3)甲烷(CH 4 )前驅物在銅箔(當基板及催化劑)上加熱脫氫產生石墨烯(graphene) ...
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