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先進CMOS廠處理300 mm矽晶上石墨烯的最佳方案

二氧化矽／矽晶片的TXRF光譜，在轉移後發現高濃度的銅、鐵、鈦。轉移後清洗的晶片降低金屬汙染物到~ 5E10 at/ cm2。 拉曼光譜技術是最常用來衡量單層石墨 ...

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