圖 5-9 SEM 影像的景深示意圖 tan r / ( D / 2) , 是電子束發散角,2r 是電子束直徑,而 100μm(CRT 光點大小) 2r ,若物鏡的孔徑半徑為 R,孔徑到聚焦面叫 ...
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