薄膜比較幹,耗費時間長,降溫開個chamber到復機要等到眼白. 黃光蝕刻擴散薄膜順序. IC process 基本製程. 黃光. 薄膜. 蝕刻. 植入. 光阻去除. 說明. 圖 ...
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