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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

真空泵浦(vacuum pump)係以產生真空為目的的低壓發生器，氣體自動會流. 向壓力較低之處乃是一種自然的基本法則。真空泵浦的使命就是在系統中連續維. 持低壓，使氣體自相連 ...

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