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乾式真空泵浦優點與結構 - 銳昇興業有限公司
極限真空度高. 單泵終極壓力可達7.5x10-3 torr以上。 2. 節能兼具環保. 低耗功,無廢水、廢油產生。 3. 製程潔淨度高. 泵腔內無水、無油,製程物不受水氣、油氣污染。
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