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半導體製程設備 - 第 505 頁 - Google 圖書結果

二個真空系統,包括製程室、真空泵和真空計,如圖 11.66、11.67 所示。真空計製程室極高真空阀真空閥濺擊離子泵吸收泵吸收泵圖 11.66 簡單的濺擊離子泵系統 表 11.9 真空 ...

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