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濺鍍使用說明

打開5N 氮氣氣瓶和氣閥(因為破真空是N2)，等到有氣體從chamber 漏出來 ... VENT: 破真空閥. MV: 主閥. FV: 細抽閥. MOTOR: 轉盤. GAS VALVE: 氬氣閥.

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