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真空閥原理
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https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Doc/Publication/InstTdy/120/01200810.pdf
真空元件與封合技術 - 台灣儀器科技研究中心
空閥門依其形狀構造、操作原理及用途分類,種類. 繁多,若依系統真空度需求,又可分為中低真空. 閥、高真空閥及超高真空閥,表3 依真空閥門之工.
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