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半导体工艺设备之单晶炉- - 电子工程专辑

炉底板设计成平板式，具有双层结构，通水冷却。 ... 主真空系统提供了为各腔体抽真空或者当隔离阀关闭时仅为上下炉室抽真空的阀和管道。为控制真空腔 ...

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