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新型專利說明書

一種真空濺鍍腔體防著板調整機構，其係於真空腔體內左右 ... 真空腔體10設計(chamber design)中，如圖五及圖六所示，. 一般習知防著板18設計於托盤12與輪軸固定座15之 ...

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