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超高真空系統的研發與關鍵技術 - 機械新刊

市面上超高真空系統多以不銹鋼腔體為主，然而本中心長期研發鋁合金超高真空系統設計與腔體製造技術，卻驗證了多項超越不銹鋼而達到更優越的UHV性能， ...

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