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真空系統的設計、腔體設計及控制與操作及軟體撰寫

次要項目. • 真空計選用. • 真空幫浦選用. • 閥門選用. • 材料選用. • 腔體大小形狀. • 溫度. • 氣電引入. • 安全設計. • 容易安裝日後容易維修.

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