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超高真空系統之設計與分析 - Airiti Library華藝線上圖書館

本文研究一多電子束平行寫入微影系統之超高真空(UHV)系統的設計和分析。真空腔體的內部壓力將被設計保持在1.0E-9 Torr之等級。本文提出一個低成本的超高真空系統設計， ...

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