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[討論] 真空腔體達不到預想壓力
感謝樓下的各位回覆,目前這組腔體會把牙孔保留(還有其他測試要用)挖一個洞焊接kf40的接頭型式與幫浦(新幫浦)銜接,先測試腔體能到達10-3torr在走下一步,更換真空 ...
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