图5 2 A 多极场线圈真空套检漏示意图. 图6 是质谱差分系统示意图,考虑到真空室预装不存在磁场,分析系统应靠近真空室. 并可选用1500 L·s−1 分子泵差分机组[2,5], ...
確定! 回上一頁