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真空幫浦國立台北科技大學真空及超低溫技術研究室鄭鴻斌 ...

這類幫浦可能是使用量最大的幫浦，在許多複合式的真空系統中. 常被使用作為前級/粗抽幫浦。 ... 擴散幫浦在操作過程中，若出口處的壓力太高，超過臨界壓力的.

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