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設備作業標準(CF-C05 Wet Bench-前段化學清洗蝕刻工作站)

工作日：製程整合組優先；夜間、國定假日：以TSRI 預約系統預約者優先。 ... 使用時機：高溫製程及高真空製程前之晶圓清洗及其它各種污染物之去除。

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