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扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结果，则可能是系统设计不合理，有效抽速低；或真空规电极放气和真空规本身受光 ...

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