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真空泵浦與真空系統安全手冊

若入口管線的組件無法承受產生的壓力，管線就會爆裂，而導致製程氣體洩入系統，若. 氣體從系統回流至無法承受壓力的製程室，同樣會引起爆裂及洩漏。 經由提供低壓流的壓力 ...

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