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真空系統抽真空過程一直無法抽至底壓
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UL6000-Fab,-PLUS-操作手冊-iinc75zh( ...
5.4 將接收器/ 檢體連接至入口法蘭. ... 測漏儀的測量系統一直都有一定殘餘量的氦氣。 ... 進行真空法時,檢測物件會被抽真空,並從外部填入氦氣或合成氣體。
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