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Ohmiker-90BS Operator s Manual

3. 將真空腔體抽至約3.0×10. -1 torr以下，保持腔體潔淨。 4. 等待TB降速至0rpm時才可關閉電源，否則會將葉片損傷,FV才能關閉,接. 下來關DRY pump。

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