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課程介紹- 真空技術及半導體設備實務_碩研光電一甲

... 與真空計工作原理、各種半導體製程設備原理與應用介紹實務操作：真空幫浦、真空計結構認識、真空系統 ... 能具備真空技術之操作原理與在半導體設備之應用（技能）.

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