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真空系統原理
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電容式薄膜真空計的工作原理圖
根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式 ... 金屬彈性膜片將薄膜真空規管隔離成兩個室,分別為接被測真空系統的測量室和接高 ...
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