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真空系統原理
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真空系统结构 - 文档之家
真空系统 结构的内容摘要:真空系統由許多不同的組件組合而成。 ... 目前利用電容式原理製造之真空計,其量測範圍可從數十倍大氣壓力至10-5(10-3Pa)。
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