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真空系統原理
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第一節真空幫浦
真空 幫浦為一種裝置可將真空系統中的氣體抽出,使返. 回真空系統中的氣體數量較抽出真空系統的氣體數量為. 少. 不論為何種形狀構造或何種抽氣原理,均稱為真空幫浦.
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