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真空系統原理
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渦輪式分子真空幫浦
原理 差不多的商用渦輪式幫浦(有別於實驗型)才首度. 推出。以後各真空幫浦製造廠商均致力發展,進步甚快。 近年來渦輪式真空幫浦已成為高真空與超高真空系統上.
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