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真空系統原理
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几种常见的超高真空系统
图15为该系统原理图。以溅射离子泵为主泵,使用两个分子筛泵做预抽泵,其中一个分子筛泵用来抽走真空室和溅射离子泵中的大气压下的气体,另一个用来抽走 ...
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