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真空系統原理
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國立中山大學機械工程學系
來,渦輪分子真空幫浦的作用原理是利用高速旋轉之傾斜葉片使系統. 中原本混亂運動之氣體分子朝出口運動,並利用多級轉子與靜子之交. 錯排列來提高其壓縮比,具有高真空 ...
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