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真空系統原理
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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作
而排氣式真空泵浦又可. 分為下列兩大類,即:. (1) 機械泵浦:此類泵浦利用機械能力直接將氣體排送出系統,其作用原理通. 常 ...
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