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真空系統之基本構造
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特約稿| 張以忱:濺射離子泵的改進型式,及其選擇和使用維護
如果泵不要求在較高壓力下起動,而且對抽惰性氣體沒有特殊要求,很少破空的超高真空系統和腔體,選用二極型離子泵比較合適。 · 如果被抽系統中含有氦氣、氬 ...
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