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真空系統之基本構造
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系統 之迴路設計、基本電氣氣壓控 ... 體機械基本原理及構造,進而以實 ... 7.真空系統設計與裝配. 8.真空測漏. 9.半導體真空應用. 10.真空鍍膜系統.
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