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真空系統之基本構造
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Microsoft PowerPoint - Chapter 3 產生真空的辦法.ppt [相容模式]
... 真空系統的氣體數量為少不論為何種形狀構造或何種抽氣原理, 均稱為真空幫浦1 2 ... 電量甚小(G) 正常操作壽命極長離子幫浦的缺點撞濺離子幫浦基本靠結拖材料抽氣, ...
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