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CN101579856A - 不良晶粒挑选机及其方法 - Google Patents

拣选装置包含吸嘴，以真空吸附方式将置于操作基座上的不良晶粒吸附，再通过排除装置移除不良晶粒。排除装置为非接触式，通过流体喷除方式排除，或为接触式，通过直接接触器 ...

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