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真空用步進馬達及其特性

為. 了維持真空狀態，真空容器中使用的零件或部件的材質受. 到限制，馬達也必須使用真空專用馬達。 2.2. 真空用馬達的優點. 在真空環境下，若要進行運轉、直線驅動時，可以 ...

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