項目檢查項目 3 ,真空幫浦檢查以下項目應註明檢查結果: ( 1 )氣體管路標示已張貼並註明流向。( 2 )有過壓偵測器。 ... ( 8 )機臺使用自燃性氣體之幫浦逆止閥能防止回流。
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