原則上各種抽粗略真空的幫浦均可利用作前段幫浦。擴散幫浦將氣體壓縮至可被前段幫浦抽氣的壓力,稱為前段壓力( fore - pressure )。連接前段幫浦至擴散幫浦的管路則稱為 ...
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